Тема: МЭМС акселерометры и гироскопы
Исполнитель: Гребенник Максим Дмитриевич , гр. 441-об
Научный руководитель: Русинов Владислав Леонидович, СКБ "Промышленная работника и автоматизация".
План:
1. Основы МЭМС-технологий
1.1. Принципы работы и материалы МЭМС.
1.2. Преимущества и ограничения МЭМС.
2. МЭМС акселерометры
2.1. Принцип работы и типы акселерометров.
2.2. Характеристики и применение.
3. МЭМС гироскопы
3.1. Принцип работы и типы гироскопов.
3.2. Характеристики и применение.
3.3. Сравнение акселерометров и гироскопов.
4. Итоги и перспективы развития.
